Детектируемый газ |
Диапазон |
Тип датчика |
Аммиак NH3 |
0-75 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Пентахлорид сурьмы SbCl5* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Пятифтористый мышьяк AsF5* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Арсин AsН3 |
0-1 ppm 0-0,2 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Трихлорид бора BCl3* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Трифторид бора BF3* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Бром Br2* |
0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Окись углерода CO |
0-75 ppm 0-150 ppm 0-300 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Хлор Cl2 |
0-1,5 ppm 0-3 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Трехфтористый хлор ClF3* |
0-0,6 ppm 0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Горючие газы |
0-100% LEL |
GD-A8 |
Диборан B2H6* |
0-0,3 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Дихлорсилан SiH2Cl2* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Дисилан Si2H6* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Фтор F2* |
0-3 ppm 0-5 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Водород H2 |
0-2000 ppm |
GD-V77D |
Бромоводород HBr* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Хлористый водород HCl |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Фтористый водород HF* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Иодоводород HI* |
0-5 ppm |
GD-K77D |
Сероводород H2S |
0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Иод I2* |
0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Изофталевая кислота CH3CHOHCH3 (IPA)* |
0-2000 ppm |
GD-A8V |
Фтористый молибден MOF4* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Окись азота NO |
0-100 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Двуокись азота NO2 |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Трехфтористый азот NF3 |
0-30 ppm |
GD-K8DG, GD-K77DG |
Тетраокисел азота N2O4* |
0-15 ppm |
GD-K77D |
Кислород O2 |
0-25 об.% |
GD-F77D |
Озон O3* |
0-0,6 ppm 0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Фосфин PH3 |
0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Оксихлорид фосфора POCl3* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Пентафторид фосфора PF5* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Трихлорид фосфора PCl3* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Трифторид фосфора PF3* |
0-10 ppm |
GD-K77D |
Силан SiH4 |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Тетрахлорид кремния SiCl4* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Тетрафторид кремния SiF4* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Двуокись серы SO2 |
0-30 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Четырехфтористая сера SF4* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Фтористый тантал TaF5* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Тетраэтил ортосиликата Si(OC2H5)4 (TEOS) |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Четыреххлористый цинк ZnCl4* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Фтористый титан TiF4* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Четыреххлористый титан TiCl4* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Трихлормоносилан SiHCl3* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
Триметоксил бора B(OCH3)3 (TMB)* |
0-500 ppm |
GD-S8DG, GD-S77DG |
Триметил фосфата P(OCH3)3 (TMP)* |
0-100 ppm |
GD-S8DG, GD-S77DG |
Шестифтористый фольфрам WF6* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
1,1,1 - трихлорэтан С2H3Cl3* |
0-2000 ppm |
GD-A8V |
* По поводу отмеченных газов советуйтесь с нашими менеджерами